Le campus a été créé en 1975 sur le plateau du Moulon, à la limite Sud du plateau de Saclay, près d’Orsay. Il a été inauguré par le président de la République d’alors, Valéry Giscard d'Estaing.
Janvier 2007: Visite de Nicolas Sarkozy. Il y est revenu en tant que président de la République pour présenter ses vœux au monde de l'éducation et de la recherche le 11 janvier 2010.
Octobre 2013 : Jean-Marc Ayrault y a prononcé une allocution sur le projet Paris-Saclay dans le cadre d'une visite sur le plateau de Saclay.
